滤光片系列  
  宽带红外截止滤光片  
  长波通截止滤光片  
  带通滤光片  
  [分色镜]透蓝绿反红  
  [分色镜]透绿红反蓝  
  [分色镜]透红反蓝绿  
  分光膜系列  
  合像棱镜  
  偏振分光棱镜  
  单波长消偏分光膜  
  双波长消偏振分光膜  
  655透射785消偏分光  
  655消偏分光785透射  
  高反膜系列  
  宽带高反膜  
  窄带高反膜  
  倍频高反膜  
  增透膜系列  
  可见光宽带增透膜  
  红外宽带增透膜  
  单波长增透膜  
  倍频增透膜  
  双波长增透膜  
  超宽带增透膜  
  一、简介:
 

目前的真空镀膜大多采用热蒸发(热电阻或电子束蒸发)方式镀制薄膜,存在膜层疏松、性能不稳定、牢固度差等缺点。根据薄膜微观缬构分析,这是因为热蒸发镀制的膜层是柱状结构,存在大量间隙,极易吸附和渗透水汽,这种组织缺陷状态对膜层的力学性能、光学性能、电学性能及抗腐蚀性能都是有害的。离子束辅助镀膜工艺是在热蒸发镀制薄膜的同时,用离子束轰击来改变薄膜的结构,从而改善薄膜的应力、附着力、填充密度等特性,用于发生离子束的离子源是实现离子束辅助镀膜工艺的关键。

本产品是冷阴极潘宁放电型宽束离子源。由于采用了冷阴极结构,没有阴极灯丝,所以结构比较简单,电源调节参数少,操作方便,寿命较长,污染少,离子束能量可调节范围宽,均匀性好。使用本产品可以提高薄膜的牢固度和抗腐蚀性,改善性能的稳定性,提高膜层的抗激光破坏能力,缩短镀膜时间,提高工作效率,降低镀膜功耗,降低镀膜成本。

本产品离化率高、功耗低、发热量小,真正实现室温冷镀,非常适合在光学树脂、塑料及胶合件等对温度敏感的基底上镀制薄膜。

   
  二、主要技术指标及参数:
 
1.主要技术指标:
  a.离子束出口口径:Φ8CM
b.离 子 束 流:30~150mA
c.离 子 能 量:300~1000ev可调
d.离子束均匀区范围:±15%均匀区Φ500mm(出口600mm处)
e.工 作 气 体:氩、氮、氧、氢等
f.用 气 量:氩---3~15SCCM
氧---15~50SCCM
氮---15~50SCCM
  2.使用条件:
 
a.环 境 温 度:-20℃~50℃
b.相 对 湿 度:10~90%
c.无明显机械振动
d.使用工作气体为无尘干燥气体
e.离子源工作真空度:3x10-3~3x10-2Pa
f.输 入 电 源:AC220V±15% 50/60HZ
   
   
 
   
   
 
   
   
 
   
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