目前的真空镀膜大多采用热蒸发(热电阻或电子束蒸发)方式镀制薄膜,存在膜层疏松、性能不稳定、牢固度差等缺点。根据薄膜微观缬构分析,这是因为热蒸发镀制的膜层是柱状结构,存在大量间隙,极易吸附和渗透水汽,这种组织缺陷状态对膜层的力学性能、光学性能、电学性能及抗腐蚀性能都是有害的。离子束辅助镀膜工艺是在热蒸发镀制薄膜的同时,用离子束轰击来改变薄膜的结构,从而改善薄膜的应力、附着力、填充密度等特性,用于发生离子束的离子源是实现离子束辅助镀膜工艺的关键。
本产品是冷阴极潘宁放电型宽束离子源。由于采用了冷阴极结构,没有阴极灯丝,所以结构比较简单,电源调节参数少,操作方便,寿命较长,污染少,离子束能量可调节范围宽,均匀性好。使用本产品可以提高薄膜的牢固度和抗腐蚀性,改善性能的稳定性,提高膜层的抗激光破坏能力,缩短镀膜时间,提高工作效率,降低镀膜功耗,降低镀膜成本。
本产品离化率高、功耗低、发热量小,真正实现室温冷镀,非常适合在光学树脂、塑料及胶合件等对温度敏感的基底上镀制薄膜。 |